【TechWeb】7月6日音讯，近来国内半导体制作良率办理设备厂商东方晶源在北京总部举行了国内首台要害尺度量测设备（CD-SEM）出机典礼，正式宣告斩获订单并出机中芯世界。东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海先生，北京市经信委、亦庄管委会、国家02专项以及东方晶源客户、股东、投资方等代表到会了此次活动，一起见证了这一重要时间。此次出机典礼，标志东方晶源继2019年霸占电子束缺点检测技能后，再一次获得了严重产品技能打破，填补了国产要害尺度量测设备（CD-SEM）的商场空白。

  据悉，此次出机的要害尺度量测设备（类型：SEpA-c410）面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像体系和高速硅片传输计划，调配精准的量测算法，可完成高重复精度、高分辨率及高产能的要害尺度量测。进驻中芯世界后，将通过实践产线验证，进一步提高、完善设备功能，向工业化方针全体跨进。

  中芯世界是世界领先的集成电路晶圆代工企业之一，也是中国内地技能最先进、配套最完善、规划最大的集成电路制作企业集团，供给0.35微米到14纳米不同技能节点的晶圆代工与技能服务，在先进制程探究、设备多元化方面等方面走在职业前列。东方晶源继首台电子束缺点检测设备进驻中芯世界产线后，首台要害尺度量测设备能够进入中芯世界12英寸产线验证，阐明其研制实力已获得职业高度认可，对我国集成电路制作自主可控具有严重含义。

  东方晶源自建立以来，专心于芯片制作要害环节的良率操控和提高范畴。在北京市经信委、亦庄管委会、国家02专项组、协作伙伴和投资方的一起支持下，不断获得重要产品技能打破，公司旗下核算光刻系列软件（OPC）、电子束缺点检测设备（EBI）均已通过世界大厂产线验证并完成订单收入，在国产设备范畴获得了注目的成果。此次出机，东方晶源在良率操控产品线添加了至关重要的一环，也处理了我国在芯片制作范畴中又一项“卡脖子”难题。中芯世界与东方晶源作为各自范畴的优异代表，进一步加强了战略协作关系，是半导体工业链上下游产研与使用协作的模范。

  现在，半导体设备商场主要被国外巨子独占，职业集中度很高，是我国半导体工业被“卡脖子”的要害所在，因而国产化代替对国家科技立异的含义严重。东方晶源俞宗强董事长表明：国产半导体设备的快速开展，除了国家方针、研制资金、人才培养等方面的大力投入，更需求晶圆代工厂的实践使用和验证完善。现在，东方晶源现已和国内大部分有商场影响力的晶圆代工企业建立了协作关系。未来，期望更多的晶圆代工企业对国产设备厂商坚持愈加敞开的心态，为优质国产芯片设备供货商供给能够验证技能、完成工业化的渠道，一起携手打破国外技能独占，推进我国半导体工业链完成全面自主可控，合作国家完成在半导体工业的战略布局。

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